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   中導光電離線自動光學檢測設(shè)備，其主要應用于陣列面板、彩膜面板、觸摸屏面板和有機發(fā)光二極管面板的缺陷檢測，最高測量精度為1.0微米級，處于國內(nèi)先進水平。