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   MDI產(chǎn)品是中導(dǎo)光電推向市場(chǎng)的微米級(jí)晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備，其適用于0.5-1um工藝產(chǎn)線的IC有圖形和無(wú)圖形晶圓缺陷檢測(cè)。